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设备特点：

1.        采用两套独立的电脑控制机械臂自动化作业；

2.        各槽配置独立抛动系统，增加硅片和溶剂的摩擦。

3.        各槽配置鼓泡管路，均采用PFA材质管件制作。

4.        酸槽配置冷却盘管，降低酸溶剂蒸发量；设置脊型缸盖，杜绝酸蒸汽释放到空气中，缸盖上设有喷淋系统。

5.        设备槽体均采用PVDF 6mm板材制作，耐酸碱性强。

6.        采用第三代最新技术，全面完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落。

7.        最新全自动补液技术，做到集中供酸和排放。配置接水盘，防止槽体漏液污染车间环境。

8.        独特的硅片干燥前处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕。

9.        成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身。

10.    彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换

11.    售后服务：保修期一年，提供终身维护。

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